由于真空泵有选择性抽气，因而，惠州真空泵，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，SKA水环式真空泵，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
2XZ直联式真空泵的特点：
2XZ直联式真空泵是获得真空的基本设备，它可单独使用，亦可作为各类高真空的系统的前级泵和预抽泵，它结构紧凑，体积小，点地面积少，泵上有设计提手，不锈钢真空泵，移动方便。
要求真空泵油在工作温度下，泵油必须具有一定的粘度，且随温度的变化小，以保证良好的密封作用。粘度过小，密封性能不好，粘度过大，会使泵油难以进入率擦面的缝隙，润滑作用变差，同时，转子旋转困难，消耗功率增大，泵油也会过热。一般要求在20度时饱和蒸汽压不大于5.3*10-3 Pa;在50度时泵油的粘度应在（47~57）*10-6 m 2 /s范围内，耐腐蚀真空泵，即可以满足要求。由于油的粘度随温度升高而下降，油的密封能变差，饱和蒸汽压增大，使真空度降低。因此，规定真空泵油工作温度不得超过70度。
水环式真空泵有他独有的特点：其结构紧凑、工作平衡可靠和抽速均匀，化工生产中多用来输送或抽吸易燃、易爆和有腐蚀性的气体，材质有304和316不锈钢，叶轮可做成铜或不锈钢材质的。水环式真空泵由于叶轮搅拌液体，损失能量大，故其效率很低。
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